管道顆粒度檢測
a.測試目的和標準
對高純氣體輸送系統(tǒng)微粒濃度的檢測
b.測試儀器
1cf塵埃粒子計數(shù)器（0.1um）
c.測試前準備
(1)在圖紙上標出微粒測試的管路, 并將取樣點和吹掃氣體導入點在圖上標出。
(2)將經(jīng)過過濾的純凈氣體接入測試管路中, 調(diào)節(jié)流量, 確保流量不超過過濾器的額定流量。
(3)確保待測系統(tǒng)中的閥門和調(diào)壓閥處在開啟位置。
e.測試方法
（1）檢查系統(tǒng)內(nèi)的氣體流速, 確保系統(tǒng)流量符合微粒測試的最小的速度要求。
(2)使用管徑至少是1/4” 的不銹鋼EP管材和微粒儀相連。選取各系統(tǒng)的最不利的用氣點（即系統(tǒng)內(nèi)管路最長、走向最復雜的用氣點）進行測試，或經(jīng)甲方工程主管指定用氣點進行抽樣測試。
用塵埃粒子計數(shù)器連接氣體管道采樣。儀器布置示意圖如下：
塵埃粒子計數(shù)器進行在線監(jiān)測測量，當觀察到讀數(shù)滿足要求并穩(wěn)定一段時間之后，即停止測試。塵埃粒子測量在連續(xù)十個周期（1min為一個周期）合格之后停止測量。
(3)持續(xù)抽樣直到系統(tǒng)達到驗收標準。
測試完成
（1）把粒子計數(shù)器從系統(tǒng)中移走,然后降低系統(tǒng)的流量。
（2）在測試的完成后應保持系統(tǒng)或組件在正壓下或在吹掃狀態(tài)中。
（3）在微粒測試成功完成之后通知業(yè)主質量管理員。
測試失敗：經(jīng)過測試,如果系統(tǒng)達不到驗收標準, 執(zhí)行以下步驟來找出并解決問題。
（1）檢查入口過濾器
（2）把粒子計數(shù)器直接連接在已過濾過的氣源取樣管路中。如果微粒計數(shù)儀在20 分鐘內(nèi)達到零.說明過濾器功能正常, 間歇性吹掃管路系統(tǒng),重新測量直到系統(tǒng)到達驗收標準。
g.具體測試步驟
PN2（10）、Par（5）、PHe（1）設備接頭共同串聯(lián)，一次完成顆粒測試。
NH3（5）、SiH4（5）、1% PH3/H2（5）、NF3（5）、PH2（5）針對不同的氣體不同管道單獨顆粒測試；
